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Patent Name

Developer

Patent Number

Country

Date

  

호이슬러 합금의 식각방법 {The method of etching of Heusler alloy materials}


정지원, 아드리안, 황수민


10-1588607-0000


Republic of Korea


2016. 01. 20

H2O 가스를 이용한 자성 박막의 식각 방법 {The method for etching of magnetic thin films using H2O gas}


정지원, 이일훈

 

10-1548232-0000

 

Republic of Korea


2015.08.24 

스퍼터링 증착을 이용한 황화카드뮴 박막의 제조방법 {Preparation Method of CdS Thin Films Using Sputtering Deposition}


정지원, 최지현


10-1540035-0000

  

Republic of Korea

  

2015.07.22

자기터널접합 구조용 건식 식각 방법 및 이를 위한 기화장치법{Dry etching method for Magnetic Tunnel Junction (MTJ) stack and vaporizing apparatus for the same}


정지원, 이태영


10-1489740-0000


Republic of Korea


2015.01.29

MgO 박막의 건식 식각 방법{Dry Etching Method of MgO thin film}

정지원,이일훈

10-1394651-0000

Republic of Korea

2014. 05. 02

알칸계 혼합가스를 이용한 자성박막의 식각방법{The method for etching of magnetic thin films using alkanes mixture gas}


정지원, 김은호, 이태영


10-1314830-0000


Republic of Korea


2013. 09. 27

자기터널접합 적층 박막에 대한 건식 식각 방법{Dry Etching Method for Magnetic Tunnel Junction(MTJ) stack film


정지원, 이태영


10-1312028-0000



Republic of Korea


2013. 09. 17.

자기터널접합 구조에 대한 건식 식각 방법 {Dry Etching Method for Magnetic Tunnel Junction(MTJ) stack}


정지원, 김은호


10-1222190-0000


Republic of Korea


2013. 01. 08

에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 광흡수층의 제조방법{Device of aerosol-jet deposition and fabrication method of absorber layer thereby}


정지원, 김동찬,공선미, 번영


10-1194651-0000


Republic of Korea


2012. 10. 19

자성박막의 식각방법 {The method of etching magnetic thin films}

정지원, 소우빈

10-1171387-0000

Republic of Korea

2012. 07. 31

리프트오프 공정에 의해 패턴이 형성된 투명전극 및 이를 이용한 태양전지{The patterned transparent electrode by lift-off and the solar cell using the same}


정지원,


10-1071412-0000


Republic of Korea


2011. 09. 30

인듐옥사이드-징크옥사이드의 건식 식각 방법 {Dry Etching Method for In2O3-ZnO}

정지원

10-2009-0905993

Republic of Korea

2009. 06. 26

상변화물질(GexSbyTez)에 대한 건식 식각 방법

정지원

10-0805844-0000

Republic of Korea

2008. 02. 14

산화아연물질에 대한 건식 식각 방법

정지원

10-0780832-0000

Republic of Korea

2007. 11. 23

상변화물질(GexSbyTez)에 대한 건식 식각 방법

정지원

10-0780404-0000

Republic of Korea

2007. 11. 22

TiN을 상지층으로 사용한 자기 저항 소자

정지원, 황순원, 김태완,정석재,유용환

10-0695135-0000

Republic of Korea

2007. 03. 08


PZT 박막의 건식 식각방법

정지원

10-0408497-0000

Republic of Korea

2003. 11. 24


백금 박막의 건식 식각방법

정지원

10-0378345-0000

Republic of Korea

2003. 3. 18

저온 공정을 이용한 PZT 박막 손상 회복 방법

정지원, 창정

10-0378344-0000

Republic of Korea

2003. 3. 18

이리듐 전극의 건식 식각방법{Dry etching method of iridium electrode}

정지원

10-0338808-0000

Republic of Korea

2002. 5. 18

강유전체 커패시터용의 제조방법

정지원

10-0322695-0000

Republic of Korea

2002. 1. 17

강유전체 커패시터용 피지티(PZT)박막 및 이의 제조방법

정지원,이완인,이준기, 정일섭,유인경

10-0355802-0000

Republic of Korea

2002. 9. 25

강유전체 커패시터의 제조방법 {Manufacture of semiconductor device}

정지원

10-0287118-0000

Republic of Korea

2001. 1. 19

Method for Fabricating a Ferroelectric Capacitor

Chung Chee Won, Il-sub Chung, In-kyung Yoo

6,048,737

U.S.A

2000. 11. 4


Method for Dry-Etching a Platinum Thin Film

Chee Won Chung

5,976,394

U.S.A

1999. 10. 2


Method for Manufacturing Ferroelectric Thin-Film Capacitor

Chee Won Chung

1002666

Nederland

1998. 12. 1


Method for Manufacturing Ferroelectric Thin-Film Capacitor

Chee Won Chung

5,658,820

U.S.A./

1997. 8. 19

PZT Thin Films for Ferroelectric Capacitor and Method for Preparing the Same

Chung Chee Won, Wan-in Lee, Jun-ki Lee, Ilsub Chung, and In-kyung Yoo,

5,625,529

U.S.A

1997. 4.29


강유전체 커패시터의 제조방법

Chung Chee Won, Il sub Chung, In kyung Yoo

2703206

Japan

1997. 10. 3



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